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高度集成、旋進輔助的分析型 4D- STEM

TESCAN TENSOR 是一款中等加速電壓、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于對功能材料、薄膜、天然和合成顆粒的納米級形態(tài)、化學和結構特性進行多模態(tài)表征，具有出色的 4D-STEM 性能和良好的普遍適用性。

測量功能:

TESCAN TENSOR 為材料科學家、半導體研發(fā)和失效分析人員以及晶體學家提供了眾多已預設的STEM、4D- STEM和斷層掃描測量的參數(shù):

? STEM BF, ADF 和 HAADF 成像
? STEM 晶格像
? 成分 (能譜分析和元素面掃)
? 取向 / 物相分布成像
? 應力分布圖
? 虛擬 STEM
? STEM 和 EDS 重構
? 衍射重構

性能:

TESCAN 從零開始開發(fā)了全新的 TENSOR，優(yōu)化了STEM 掃描的同步功能：

? 混合像素的直接電子衍射相機衍射成像
? 2個無窗EDS探測器(2個大立體角)進行快速地能譜采集
? 快速，旋進電子束頻率高達 72kHz
? 一體化的靜電束閘
? 近實時4D-STEM數(shù)據(jù)分析、處理和可視化軟件(TESCAN Explore)
? 都集成在模塊化、中高壓、近超高真空 (樣品區(qū)域真空達到10^-6 Pa) 的肖特基場發(fā)射電子槍上

可用性:

TESCAN TENSOR 是一臺可以像掃描電鏡一樣易于使用的掃透電鏡（STEM）。它可以讓使用者把時間花在樣品分析上，而不是浪費于參數(shù)調(diào)整。新手用戶只需要最少時間的訓練，就能很快獲得結果。有經(jīng)驗的用戶可以使用選配的 API 開發(fā)適合自己的測量功能，并通過 HyperSpy、LiberTEM 或? Py4DSTEM 等開放平臺的解決方案導出 TENSOR 4D- STEM 的數(shù)據(jù)集進行離線處理。